专利服务 首页» 服务指南» 专利服务» 专利专题库 光刻机领域专题库 日期:2021-05-14访问量： 光刻机专题数据库由技术转移中心委托沃杰知识产权建立，专题库依托沃杰云专利检索平台，以光刻机工作台、光源系统、曝光系统、对准系统和商业主体为主要板块。 访问入口 账号获取方式：68914920、13121302677（柳老师） 分享到： .
